欢迎来到成都恒源气体有限公司!
企业商铺 | 联系我们 | 在线留言 | 网站地图
全国服务热线:
13540757780
联系我们
咨询热线
13540757780
全国售后热线:
13540757780
邮箱:1248756399@qq.com
地址:成都市双流区黄甲镇文庙社区五组112号
当前位置:首页 > 新闻动态 > 公司新闻  
什么是成都高纯三氟化氮?高纯三氟化氮有什么用途?
作者:admin 发布日期:2019/8/26 关注次数: 二维码分享

工业气体种类非常多,其中不乏有一些危险气体,今天小编给大家介绍一种气体-成都高纯三氟化氮:


成都高纯三氟化氮


三氟化氮化学式NF₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。


成都高纯三氟化氮


三氟化氮主要用途是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所 HF-OF激光器是化学激光器中有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术,它的需求量将日益增加。

相信通过以上成都高纯三氟化氮的介绍大家对它及其应用都有了一定了解,如您想了解很多行业知识欢迎给小编来电或留言。

此文关键字:  
相关产品
相关新闻